А. ЧЕЧНЕВ. Из истории радиоэлектроники. Через тернии — к микросхемам. Часть 5. Серии цифровых микросхем. |
НИР по разработке быстродействующих токовых переключателей, технологии их производства проводилась Николаем Михайловичем Лукановым на протяжении более сорока лет, вплоть до выхода на пенсию. А начало было положено в далёком 1966 г. работой по исследованию высокопроизводительных групповых процессов диффузии бора и фосфора с использованием жидких источников диффузанта (трибромида бора и трёххлористого фосфора). Процессы были внедрены на ряде предприятий электронной промышленности, выпускающих микросхемы ЭСЛ и ТТЛ структур, отличались простотой и высокой экономической эффективностью. | Вернуться назад. |